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管式等離子體淀積爐

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管式等離子體淀積爐

  技術特點  Features  

· 可靠電極接觸,有效減少粉塵、降低高頻報警頻次。

· 簡單可靠自動上下舟機構,提升設備維護空間與便利。

· 運動部件單面安裝維護,減少設備背靠背布局占地面積的同時不影響設備維護難度。

· 高速平穩(wěn)整體模組推舟機構。

· 輔助加熱專利技術。

· 快速鍍膜工藝技術。

· 自主知識產(chǎn)權MES軟件、中央計算機集中控制系統(tǒng)。