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管式低壓淀積爐

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管式低壓淀積爐

  技術特點  Features  

· 低壓與熱壁工藝特性，成膜均勻性、致密性好。

· LPCVD工藝特性，基片密排對成膜速率影響小，單管裝片量大。

· 更多溫區(qū)設置，可靠保證片間均勻性。

· 獨立調節(jié)分段進氣，彌補氣流耗盡效應。