技術(shù)特點(diǎn) Features  

· 采用龍門式機(jī)構(gòu)裝卸硅片（或進(jìn)口六軸機(jī)械手裝卸硅片）+ 六軸機(jī)械手搬運(yùn)片籃，雙工作位切換裝卸片，確保設(shè)備高效產(chǎn)能和設(shè)備可靠性。

· 頂齒、吸盤重要零部件采用特殊材質(zhì)及加工工藝，最大降低頂齒/ 吸盤對硅片的損傷；特殊結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)頂齒、吸盤單片快速更換。

· 控制程序結(jié)構(gòu)模塊化，HMI 通過網(wǎng)絡(luò)通訊實(shí)現(xiàn)與PLC 高速數(shù)據(jù)交互，便于設(shè)備功能擴(kuò)展與設(shè)備維護(hù)；設(shè)備具有友好的人機(jī)界面和完善的檢測報(bào)警系統(tǒng)，保證設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行穩(wěn)定，操作放心。

· 設(shè)備可匹配MES 功能；設(shè)備可選配方阻檢測等檢測模組；設(shè)備可匹配AGV 智能生產(chǎn)線；我司可根據(jù)客戶需求定制個(gè)性化功能。