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全自動(dòng)硅片上/下料機(jī)

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全自動(dòng)硅片上/下料機(jī)

  技術(shù)特點(diǎn)  Features  

· 采用PLC控制，上/下片過程全自動(dòng)完成；觸摸屏菜單操作，簡單明了。

· 采用雙工位操作換片籃不停機(jī)。

· 在線式/離線式可選。

· 匹配AGV, RFID, MES 管理功能。