技術(shù)特點 Features  

· 產(chǎn)能：≥9600 片/小時，CT<0.75S（182mm硅片）；≥9000片/小時，CT<0.8S（210mm硅片）。

· 激光器、掃描振鏡，場鏡及所有光學元器件均為業(yè)內(nèi)知名品牌，具有優(yōu)越的穩(wěn)定性、可靠性。

· 對位采用高精度攝像頭，配合具有自主知識產(chǎn)權(quán)的運動學標定算法，實現(xiàn)高精度對位。