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全自動硅片上/下料機

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全自動硅片上/下料機

  技術特點  Features  

· 采用PLC控制，上/下片過程全自動完成；觸摸屏菜單操作，簡單明了。

· 采用雙工位操作換片籃不停機。

· 在線式/離線式可選。

· 匹配AGV, RFID, MES 管理功能。