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光注入退火爐

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  技術(shù)特點(diǎn)  Features  

· 雙軌產(chǎn)線，機(jī)架電氣完全獨(dú)立，互不干擾。

· 大產(chǎn)能：匹配絲印工序產(chǎn)能，CT≤0.80秒，基于硅片尺寸M10（18X±0.5mm*18X±0.5mm）。