激光優(yōu)化燒結設備
激光優(yōu)化燒結設備
技術特點 Features
· 產(chǎn)能：≥9600 片/小時，CT<0.75S（182mm硅片）；≥9000片/小時，CT<0.8S（210mm硅片）。
· 激光器、掃描振鏡，場鏡及所有光學元器件均為業(yè)內知名品牌，具有優(yōu)越的穩(wěn)定性、可靠性。
· 對位采用高精度攝像頭，配合具有自主知識產(chǎn)權的運動學標定算法，實現(xiàn)高精度對位。
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全自動硅片上/下料機
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磁控濺射鍍膜設備(PVD)
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