技術(shù)特點  Features  

· 最小反射功率的快速啟輝、均勻穩(wěn)定大面積成膜。

· 成熟穩(wěn)定的多點饋入射頻RF 技術(shù)、技術(shù)兼容性和產(chǎn)品升級。

· 腔體內(nèi)反應(yīng)間距可調(diào)、靈活的工藝窗口。

· 大產(chǎn)能低成本、定制設(shè)備結(jié)構(gòu)。

· 模塊化設(shè)計便于安裝和維護(hù)、高標(biāo)準(zhǔn)的安全設(shè)計思想。