管式低壓硼擴散爐
管式低壓硼擴散爐
技術特點 Features
· 成熟BBr3液態(tài)源、BCL3氣態(tài)源控制與輸送技術。
· 配套相關專利技術。
· 獨特雙嵌套爐門結構。
· 高速平穩(wěn)整體模組推舟機構。
· 智能化全自動控制。
· 自主知識產權MES軟件。
· 匹配S.C智能化生產管理系統(tǒng)。
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管式等離子體多晶硅淀積爐
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管式擴散氧化退火爐
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