技術(shù)特點  Features  

· 隧穿氧化層、i-poly、D-poly 三合一同管完成，減少工藝環(huán)節(jié)，有效提升良率、降低碎片率。

· 無熱壁特性，石英管使用壽命長。

· 繞鍍輕微，易去除。

· 精準(zhǔn)摻雜、可引入其它提效摻雜元素，工藝拓展、提效空間大。

· 防導(dǎo)通專利技術(shù)。