技術特點  Features  

· 最小反射功率的快速啟輝、均勻穩(wěn)定大面積成膜。

· 成熟穩(wěn)定的多點饋入射頻RF 技術、技術兼容性和產(chǎn)品升級。

· 腔體內(nèi)反應間距可調、靈活的工藝窗口。

· 大產(chǎn)能低成本、定制設備結構。

· 模塊化設計便于安裝和維護、高標準的安全設計思想。