管式低壓淀積爐
管式低壓淀積爐
技術(shù)特點(diǎn) Features
· 低壓與熱壁工藝特性，成膜均勻性、致密性好。
· LPCVD工藝特性，基片密排對(duì)成膜速率影響小，單管裝片量大。
· 更多溫區(qū)設(shè)置，可靠保證片間均勻性。
· 獨(dú)立調(diào)節(jié)分段進(jìn)氣，彌補(bǔ)氣流耗盡效應(yīng)。
上一個(gè)：
管式等離子體淀積爐
下一個(gè)：
槽式堿拋光清洗設(shè)備
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