技術(shù)特點(diǎn) Features  

· 設(shè)備模塊化設(shè)計(jì)，內(nèi)部相似結(jié)構(gòu)零部件高度統(tǒng)一，便于備件管理。

· 采用觸摸屏+PLC 控制，操作界面簡(jiǎn)潔明了。

· 采用小舟流轉(zhuǎn)裝卸邏輯，產(chǎn)能高: ≥ 8000 片/ 小時(shí)(182mm 硅片)。

· 配置機(jī)臺(tái)內(nèi)部最高權(quán)限暫停功能，充分提升機(jī)臺(tái)安全冗余。

· 可配置行業(yè)主流檢測(cè)設(shè)備（選配功能），提升制成良率。

· 可搭配AGV，RFID 實(shí)現(xiàn)花籃和工藝載具全自動(dòng)調(diào)度追溯，并且可通過鏈接MES 實(shí)現(xiàn)花籃和工藝載具車間級(jí)管理和調(diào)度。