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多功能薄膜沉積設(shè)備(SPE)

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多功能薄膜沉積設(shè)備(SPE)

  技術(shù)特點 Features  

· 將真空蒸鍍、反應(yīng)式等離子鍍膜、磁控濺射三大鍍膜模塊整合成一體,三種鍍膜技術(shù)可同時獨立運行,實驗開機率媲美三臺設(shè)備,產(chǎn)能高。

· 實現(xiàn)蒸鍍、RPD、PVD 真空連鍍工藝,提供多種組合鍍膜,落實疊層鈣鈦礦層工藝一步到位,有利于膜層界面優(yōu)化、減少裝卸、傳輸損傷,有利于量產(chǎn)設(shè)備的提效降本。

· 采用與量產(chǎn)工藝統(tǒng)一的移動鍍膜模式,提高未來擴產(chǎn)成功率、減少大尺寸量產(chǎn)風(fēng)險。

· 自主程序設(shè)計、人性化操作界面;多層級權(quán)限設(shè)定,信息保密;嚴(yán)謹(jǐn)完善的安全設(shè)計,防呆功能周密;綠色環(huán)保、節(jié)能設(shè)計 。