技術(shù)特點(diǎn) Features  

· 匹配鈣鈦礦電池低溫制備工藝要求，成膜質(zhì)量高、均勻、無(wú)針孔，對(duì)底層無(wú)損淀積。

· 薄膜覆蓋率高，電池死區(qū)小；薄膜生長(zhǎng)環(huán)境可控、重復(fù)性好、良率高。

· 設(shè)備可滿足多種功能材料生長(zhǎng)，滿足不同工藝需求，滿足客戶定制化的要求。

· 整線裝備可以全線集成、占地空間小、資本支出低。

· 全線自動(dòng)化MES 過(guò)程監(jiān)控，可選自動(dòng)或手動(dòng)模式，可搭配自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)智能生產(chǎn)。