技術(shù)特點 Features  

· 匹配鈣鈦礦電池低溫制備工藝要求，成膜質(zhì)量高、均勻、無針孔，對底層無損淀積。

· 薄膜覆蓋率高，電池死區(qū)??；薄膜生長環(huán)境可控、重復(fù)性好、良率高。

· 設(shè)備可滿足多種功能材料生長，滿足不同工藝需求，滿足客戶定制化的要求。

· 整線裝備可以全線集成、占地空間小、資本支出低。

· 全線自動化MES 過程監(jiān)控，可選自動或手動模式，可搭配自動搬運機智能生產(chǎn)。